Прецизна обрада се развија од нивоа микрона до нанометарског нивоа, а ултра{0}}прецизна обрада је постигла тачност димензија од 10 нанометара и храпавост површине од 1 нанометар. Композитне технологије као што је полу{4}}абразивна обрада, у комбинацији са механичким брушењем и хемијским деловањем, постижу високу{5}}прецизност равности у обради супстрата интегрисаног кола. У будућности, фокус ће бити на развоју технологија као што су композитна обрада са више-енергетских поља и интелигентни системи за контролу процеса како би се испунили захтеви прецизности микро-механичке производње и оптичких компоненти.
